Hannover 2010 – scientific programme

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A: Fachverband Atomphysik

A 8: Poster I

A 8.7: Poster

Tuesday, March 9, 2010, 16:30–19:00, Lichthof

Entwicklng einer 1" Magnetronquelle zur Realisierung einer kompakten Clusterdepositionsapparatur — •Martin Pichotka — FMF Freiburg

Wir stellen die Characteristika einer Maschine zur Deposition von geladenen metallischen Clustern vor. Die Maschine besitzt eine neuentwickelte, kompakte 1" Magnetron-Sputterquelle, ein Ionenführungs- und Massenselektionssystem, bestehend aus einer Anordnung von Octopolführung und Quadrupolselektor. Alternativ zur Quadrupolselektion kann ein Energieselektor, zur Selektion großer Cluster, oder auch ausschliesslich eine Octopolführung verwendet werden. Ein in den Strahlengang einführbarer Probenhalter kann zur Realisierung verschiedener Depostionsenergien auf Potential gelegt werden. Der Strahl kann ohne Veränderung der Quell- und Selektor- bwz. Führungsparameter in ein TOF-Spektrometer eingeschossen werden. Das Spektrometer, bestehend aus einem Reflektron und Even-Cup-Detektor, dient zur Kontrolle der selektierten Clustergrössen sowie zur Charakterisierung der Quelleneigenschaften. Mit diesem System wurde die Clusterproduktion der 1" Quelle in Abhängigkeit der Quellparameter untersucht.