Hannover 2010 – scientific programme

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K: Fachverband Kurzzeitphysik

K 6: Poster

K 6.2: Poster

Thursday, March 11, 2010, 16:30–19:00, Lichthof

Vakuum-Ultraviolett (VUV) Emission elektronenstrahlunterstützter Hochfrequenzentladungen. — •Thomas Dandl¹, Thomas Heindl¹, Alexander Fedenev², Reiner Krücken¹, Jochen Wieser³ und Andreas Ulrich¹ — ¹Physik Department E12, Technische Universität München — ²GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung, Darmstadt — ³Optimare GmbH, Wilhelmshaven

Durch die Verwendung extrem dünner (300 nm) Eintrittsfenster aus Siliziumnitrid ist es gelungen, Elektronenstrahlen mit relativ niedriger Teilchenenergie von typisch 12 keV in Gase einzukoppeln [1]. Dies führt zu einer starken Vorionisation, die es ermöglicht, quasi ohne Zündbedingungen zusätzlich zur Teilchenstrahlanregung Energie in Form einer Hochfrequenz (HF)- Entladung in das Gas einzukoppeln. Bei der Elektronenstrahlanregung von Edelgasen dominiert das sog. zweite Excimerkontinuum die Lichtemission im vakuumultravioletten Spektralbereich [2]. In Vorversuchen war beobachtet worden, dass zusätzliche HF Anregung zu verstärkter Emission des sog. ersten Kontinuums bei jeweils kürzeren Wellenlängen führt. Es werden systematische Untersuchungen und mögliche Anwendungen elektronenstrahlunterstützter HF Entladungen vorgestellt und vorläufige Interpretationen zu den beobachteten Effekten gegeben.

[1] J. Wieser et al., Rev. Sci. Instrum. 68, 1360-1364, 1997

[2] A. Morozov, et al. J. Appl. Phys. 103 (2008) 103301