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P: Fachverband Plasmaphysik

P 18: Poster: Diagnostics

P 18.19: Poster

Donnerstag, 11. März 2010, 16:00–18:00, Lichthof

Eine neuartige Kraftsonde zur Bestimmung des Impulsstroms energiereicher Teilchen — •Alexander Spethmann, Thomas Trottenberg, Viktor Schneider und Holger Kersten — Institut für Experimentelle und Angewandte Physik, Christian-Albrechts-Universität Kiel, 24098 Kiel

Bisherige Plasma- und Ionenstrahldiagnostiken wie Langmuir-Sonden, Gegenfeldanalysatoren und Farraday-Cups basieren auf elektrostatischen Messprinzipien. Sie beschränken sich daher auf die Erfassung von Strömen geladener Teilchen und deren Energieverteilung. Jedoch werden in Ionenstrahlanlagen über Ladungsaustauschstöße auch energiereiche Neutralatome erzeugt, so dass abhängig von der Neutralgasdichte in der Targetkammer ein Teil des Ionenstrahls in einen Strahl neutraler Atome umgewandelt wird [1,2]. Oft geschieht dies ungewollt, der Effekt kann aber auch gezielt verwendet werden, um einen neutralen Atomstrahl zu erzeugen (z.B. Neutral-Beam Assisted Etching [3]). In diesem Beitrag wird eine neuartige Kraftsonde vorgestellt, die den auf ein Testsubstrat übertragenen Impulsstrom von sowohl geladenen als auch ungeladenen Strahlpartikeln misst.

V. Schneider et al., Rev. Sci. Instrum. (accepted for publ.)
T. Trottenberg et al., IEEE Trans. Plasma Sci. (accepted for publ.)
T. Yunogami et al., J. Vac. Sci. Technol. A 13, 952 (1995)