P 1: Plasmatechnology
Montag, 8. März 2010, 14:00–16:25, B 302
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14:00 |
P 1.1 |
Fachvortrag:
Simulation des Plamajet-Hochratenätzens von massivem Quarzglas — •Johannes Meister und Thomas Arnold
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14:25 |
P 1.2 |
Optimierung von Barriereschichten mittels Substratbias — •Evelyn Häberle, Jochen Kopecki, Andreas Schulz, Matthias Walker, Ulrich Stroth, Andreas Mutzke und Ralf Schneider
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14:40 |
P 1.3 |
Lokale Abscheidung von Siliziumoxidschichten mittels atmosphärischen Plasmajets — •Manuela Janietz und Thomas Arnold
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14:55 |
P 1.4 |
Construction and Characterization of Micro Plasma Jet for Thin Film Deposition on Capillary. — •Ramasamy Pothiraja, Nikita Bibinov, Philipp Mertmann, and Peter Awakowicz
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15:10 |
P 1.5 |
Ätzmechanismen bei der Bearbeitung von SiC mittels atmosphärischer Plasmajets — •Inga-Maria Eichentopf und Thomas Arnold
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15:25 |
P 1.6 |
Filamentary and homogeneous DBD modes for human skin treatment:Discharge characterization and simulation of surface irradiation — •Priyadarshini Rajasekaran, Philipp Mertmann, Nikita Bibinov, Dirk Wandke, Wolfgang Vioel, and Peter Awakowicz
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15:40 |
P 1.7 |
Untersuchungen zur Aufladung und Abscheidung von polydispersen Aerosolen durch Barrierenentladungen — •Abdelali Bougoutaya, Siegfried Müller und Tila Krüger
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15:55 |
P 1.8 |
Beladung und Plasmaregeneration von mineralischen Gasadsorbern — •Tila Krüger, Siegfried Müller und Abdelali Bougoutaya
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16:10 |
P 1.9 |
Removal of volatile organic compound using a multi stage packed bed reactor under atmospheric conditions — •Marko Hübner, Olivier Guaitella, Antoine Rousseau, and Jürgen Röpcke
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