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P: Fachverband Plasmaphysik

P 2: Diagnostics

P 2.1: Fachvortrag

Montag, 8. März 2010, 14:00–14:25, B 305

Orts- und zeitaufgelöste Dichtemessung in reaktiven Plasmen mit der Plasma-Absorptionssonde — •Carsten Selle, Marc Böke und Jörg Winter — Institut für Experimentalphysik II, Center for Plasma Science and Technology, Ruhr-Universität Bochum

Die Plasma-Absorptionssonde ist ein effektives Messsystem zur Bestimmung der Elektronendichte, besonders in reaktiven Plasmen. Die Messmethode beruht auf der aktiven Resonanzspektroskopie, bei der mit Hilfe eines Netzwerk-Analysators der S11-Parameter einer im Plasma befindlichen Monopolantenne gemessen wird. Eine dielektrische Abschirmung schützt die Sonde gegen Einflüsse reaktiver Plasmen, so dass unter Bedingungen gemessen werden kann, bei denen z. B. eine Langmuir-Sonde nicht einsetzbar ist. Ortsaufgelöste Messungen zur Erstellung von Dichteprofilen sind so einfach möglich. Auch zeitlich variierende Elektronendichten, beispielsweise in einer gepulsten Plasmaentladung, können gemessen werden. Zur Zeit wird eine Zeitauflösung von 10 Mikrosekunden erreicht.