Hannover 2010 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 2: Diagnostics

P 2.5: Talk

Monday, March 8, 2010, 15:10–15:25, B 305

Aktive Resonanzspektroskopie in Niederdruckplasmen:
Analyse verschiedener Konzepte — •Martin Lapke, Jens Oberrath, Thomas Mussenbrock und Ralf Peter Brinkmann — Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik, Ruhr-Universität Bochum

Eine industriekompatible Plasmadiagnostik muss robust und stabil sein, soll eine eindeutige und kalibrationsfreie Auswertung ermöglichen, und darf den zu überwachenden Prozess weder elektrisch noch chemisch stören, Anschaffung, Unterhalt und Platzbedarf müssen vertretbar sein. Gerade im Fall schichtabscheidender Plasmaprozesse, wie sie z.B. in den optischen Technologien vielfach zur Anwendung kommen, sind diese Forderungen besonders schwer zu erfüllen. In der Vergangenheit wurden bereits verschiedene Realisierungen des Grundprinzips der aktiven Resonanzspektroskopie vorgeschlagen [1]. Eine wichtige Klasse dieser Methoden basiert auf sogenannten Oberflächenmoden, die unterhalb der Plasmafrequenz angeregt werden.
Ausgehend von funktionalanalytischen Methoden wird ein Modell für diese Klasse von Methoden entwickelt, das für beliebige Bauformen anwendbar ist. Die Lösung zeigt, dass ein möglichst symmetrisches Design die ideale Bauform darstellt. Als Beispiel sei die MRP [2] erwähnt, die zum Einen eine algebraische Lösung des Resonanzverhalten erlaubt, und zum Anderen durch ihren Dipolcharakter das Plasma nur lokal stört.
[1] Braithwaite et al., Plasma Sources Sci. Technol. 18 014008 (2009)
[2] Lapke et al., Appl. Phys. Lett. 93, 051502 (2008)