Hannover 2010 – wissenschaftliches Programm
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P: Fachverband Plasmaphysik
P 21: Poster: Plasma-Wall Interaction
P 21.3: Poster
Montag, 8. März 2010, 16:00–18:00, Lichthof
Die Temperatur von Mikropartikeln in einem Niederdruckplasma — •Horst Maurer1, Ralf Basner2 und Holger Kersten1 — 1IEAP University of Kiel, Leibnizstraße 11-19, D-24098 Kiel — 2INP Greifswald, Felix-Hausdorff-Str. 2, D-17489 Greifswald
Die Oberflächentemperatur von Substraten spielt in technischen Plasmen, in denen es um Beschichtung oder Modifizierung der Oberflächeneigenschaften geht, eine fundamentale Rolle. Diese wird durch verschiedene Energieflüsse zwischen Substrat und Plasma bestimmt, deren Zusammensetzung von den Plasmaparametern abhängt [1].
In dieser Arbeit werden mikrodisperse Leuchtstoffpartikel als Temperatursonden in einem Plasma eingesetzt. Sie erlauben die Bestimmung der Gleichgewichtstemperatur auf optischem Wege [2]. Die Partikel werden in der Randschicht des Plasmas eingefangen, die durch eine externe Strahlungsquelle angeregte Lumineszenz wird anschliessend spektroskopisch erfasst und durch einen Vergleich mit Kalibrierspektren ausgewertet.
Es werden Ergebnisse für die Partikeltemperatur unter verschiedenen Plasmabedingungen in Argon und unter Beimischung von Molekulargasen vorgestellt, und im Bezug auf die konkreten Plasmaparameter diskutiert.
[1] H. Kersten, D. Rohde, H. Steffen, H. Deutsch, R. Hippler, G. Swinkels and G. Kroesen, Appl. Phys. A 72:531-540 (2001).
[2] H. Maurer, R. Basner and H. Kersten, Rev.Sci.Instr. 79,9:093508 (2008)