Hannover 2010 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 8: Poster: Low Temperature Plasmas I

P 8.13: Poster

Tuesday, March 9, 2010, 16:00–18:00, Lichthof

Teilchendichten und -flüsse in HF-angeregten Wasserstoffplasmen — •David Ertle¹, Patrick Starke¹ und Ursel Fantz^1,2 — ¹Lehrstuhl für Experimentelle Plasmaphysik, Universität Augsburg, 86135 Augsburg — ²Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, EURATOM Assoziation, 85748 Garching

In einem planar induktiv gekoppelten HF-Plasmaexperiment (Frequenz: 27,12MHz) werden mittels optischer Emissionsspektroskopie, Langmuirsondenmessungen und energieauflösender Massenspektroskopie Plasmaparameter und Teilchenflüsse ermittelt. Zielsetzung hierbei ist die Untersuchung der Korrelationen zwischen atomaren und molekularen Dichten und Flüssen und Ionenflüssen der verschiedenen Ionenspezies auf eine Oberfläche in Wasserstoffplasmen. Darüber hinaus soll eine Verifikation theoretischer Modelle mithilfe der bestimmten Plasmaparameter erfolgen. Es werden Ergebnisse für einen Druckbereich von 5-20Pa bei einer eingekoppelten Leistung von bis zu 400W bei verschiedenen Wasserstoff-Helium-Mischplasmen diskutiert und Wasserstoff- und Deuteriumplasmen bei bekannten Plasmaparametern verglichen.