Hannover 2010 – scientific programme
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P: Fachverband Plasmaphysik
P 9: Poster: Plasmatechnology
P 9.1: Poster
Tuesday, March 9, 2010, 16:00–18:00, Lichthof
Energiestrommessungen in einer Metallclusterquelle zur Abscheidung von Nanokompositen — •Sven Bornholdt1, Tilo Peter2, Thomas Strunskus2, Vladimir Zaporojtchenko2, Franz Faupel2, Matthias Wolter1 und Holger Kersten1 — 1Institut für Experimentelle und Angewandte Physik, CAU Kiel — 2Institut für Materialwissenschaft, CAU Kiel
Nanokomposite, die aus einem Dielektrikum mit eingebetteten Metallclustern bestehen, weisen interessante funktionelle Eigenschaften auf [1]. Die Beeinflussung der Clusterbildung und -größe auf der Substratoberfläche bringt allerdings einige Nachteile mit sich. Aus diesem Grund wird eine zur Clustererzeugung konstruierte Magnetronquelle eingesetzt, mit deren Hilfe Cluster substratunabhängig in der Gasphase erzeugt werden können. In diesem Prozess werden die Plasmparameter durch die Mischung von Argon und Helium beeinflusst.
Um ein tiefergehendes Verständnis der in dieser Plasmaquelle ablaufenden Prozesse zu erhalten, wird diese mittels einer kalorimetrischen Sonde [2] untersucht. Von besonderem Interesse sind die Abhängigkeit der Energieeinströme vom Mischungsverhältnis der Gase und von der Vorspannung des Substrates bzw. der Sonde. Die Messungen der Energieströme im Plasma und auf das Substrat werden mit den Ergebnissen der UV/VIS Emssionsspektroskopie und den XPS Messungen zur chemischen Charakterisierung der enstehenden Nanokomposite korreliert.
F. Faupel, et al. Contributions to Plasma Physics (2007), 47(7), 537-544
Kersten et al., Vacuum (2001), 63, 385