Hannover 2010 – wissenschaftliches Programm
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P: Fachverband Plasmaphysik
P 9: Poster: Plasmatechnology
P 9.5: Poster
Dienstag, 9. März 2010, 16:00–18:00, Lichthof
Plasmapolymerisierte Barriereschichten auf Polyethylenterephthalat (PET) — •Simone Plog, Andreas Schulz, Matthias Walker und Ulrich Stroth — Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart
In den vergangenen Jahren gewann die Oberflächentechnologie zur Anpassung und Veränderung von Materialoberflächen stark an Bedeutung. In der Plasmatechnologie bedient man sich dabei unter anderem der sog. ECR-Plasmen. Dabei werden Elektronen an der Zyklotronresonanz geheizt, wogegen die Ionen in diesem thermodynamischen Nichtgleichgewicht nahezu Raumtemperatur beibehalten.
Dieser Beitrag beschäftigt sich mit der Herstellung und Charakterisierung plasmapolymerisierter Barriereschichten auf dem Polymer PET.
Der Abscheideprozess wurde durch ein ECR-Plasma erzeugt, wobei als Arbeitsgase Sauerstoff und HMDSN (Hexamethyldisilazan) verwendet wurden. Durch Einflussnahme auf das Mischungsverhältnis beider Gaskomponenten sowie der Schichtdicke der Barriereschicht wurde der SiO2-Anteil der abgeschiedenen Schicht variiert und die Wasserdampfpermeation stark verringert.
Die Schichtzusammensetzung und die Morphologie der Barriereschichten wurden durch Untersuchungen am IR-Spektrometer und REM charakterisiert.