Hannover 2010 – scientific programme
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SYPT: Symposium Plasmatechnik für die Optikherstellung
SYPT 1: Beschichtungsverfahren
SYPT 1.4: Invited Talk
Monday, March 8, 2010, 15:10–15:40, E 415
Aktuelle Trends in der Ionenstrahl-Beschichtungstechnologie — •Kai Starke1 und Detlev Ristau2 — 1Cutting Edge Coatings GmbH, Hannover, D — 2Laser Zentrum Hannover
Der Einsatz von höherenergetischen Beschichtungsprozessen ist für die Herstellung optischer Funktionsschichten für anspruchsvolle Anwendungen in Forschung und Industrie unverzichtbar. Neben den klassischen Verdampfungsprozessen mit Ionenstützung (IAD) und dem Magnetron-Sputtern wird das Ionenstrahl-Zerstäuben (IBS) seit vielen Jahren eingesetzt, um Interferenzschichten mit extremen Spezifikationen, z.B. bzgl. Kantensteilheit, optischer Verluste oder Laserfestigkeit darzustellen.
In dieser Präsentation wird zunächst ein Überblick über den aktuellen Stand der IBS-Beschichtungstechnologie gegeben. Des Weiteren wird auf die neuartige Möglichkeit der Synthese von Materialmischungen eingegangen, welche eine erhebliche Flexibilisierung in der Prozessführung darstellt. Anhand einiger Beispiele wird die Einsetzbarkeit dieser erweiterten IBS-Technologie - auch im industriellen Maßstab - dokumentiert und das weitere technologische Potenzial zum Erreichen höchster optischer Qualität erläutert.