Hannover 2010 – scientific programme

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SYPT: Symposium Plasmatechnik für die Optikherstellung

SYPT 1: Beschichtungsverfahren

SYPT 1.5: Invited Talk

Monday, March 8, 2010, 15:40–16:10, E 415

Ionenprozesse für hochwertige Optiken — •Carsten Schmitz — Laser Zentrum Hannover

Notwendig für die Herstellung hochwertiger Optiken ist nicht nur die Wahl des Beschichtungsprozesses, sondern auch eine vielseitige und genaue Prozesskontrolle. Moderne und weit entwickelte Beschichtungsverfahren sind unter anderem ionenbasierte Methoden wie Ion Assisted Deposition (IAD) und Ion Beam Sputtering (IBS). Zur Prozesskontrolle kommen unterschiedliche in-situ- Detektionsvefahren wie z.B. die genaue optische breitbandige Schichtdickenbestimmung, eine Analyse der Plasmaquelle und eine Untersuchung der Gaszusammensetzung zum Einsatz. Zur Betrachtung unterschiedlicher Plasmaquellen erfolgen Messungen der Ionenstromdichte und der Ionenenergieverteilung mit einem Gegenfeldanalysator (GFA, Faraday Cup). Das Zusammenspiel der in-situ-Prozessdiagnostik und multifunktionaler aktiver Schichten soll am Beispiel der photokatalytischen Aktivität verdeutlicht werden.