Hannover 2010 – scientific programme

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SYPT: Symposium Plasmatechnik für die Optikherstellung

SYPT 2: Plasmatechnik

SYPT 2.3: Invited Talk

Monday, March 8, 2010, 17:30–18:00, E 415

Prozesstaugliche Plasmadiagnostik mit der Multipolresonanzsonde — •Ralf Peter Brinkmann¹, Peter Awakowicz¹, Martin Lapke¹, Thomas Musch¹, Jens Oberrath¹, Ilona Rolfes^1,2, Robert Storch¹, Tim Styrnol¹ und Christian Zietz² — ¹Ruhr-Universität Bochum — ²Leibniz-Universität Hannover

Die Bestimmung der Elektronendichte in schichtabscheidenden Plasmen stellt eine große diagnostische Herausforderung dar. Eine attraktive Möglichkeit dazu bietet die aktive Plasmaresonanzspektroskopie: Ein über eine Sonde in das Plasma eingekoppeltes Hochfrequenzsignal regt dieses zu Resonanzen an, aus deren Lage und Dämpfung die Plasmaparameter bestimmt werden können. Bei der Multipolresonanzsonde (MRP) handelt es sich um eine speziell optimierte Realisierung dieses Konzeptes. Der Vortrag erläutert die physikalischen Grundlagen der aktiven Plasmaresonanzspektroskopie und stellt die im BMBF-Projekt PluTO laufenden Arbeiten zur Multipolresonanzsonde dar.