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VA: Fachverband Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 3: Vacuum generation and outgassing

VA 3.1: Talk

Monday, March 22, 2010, 11:20–11:40, H40

Leistungsbereich und Einsatzgrenzen von heutigen Turbomolekularpumpen — Armin Conrad und •Jörg Stanzel — Pfeiffer Vacuum GmbH, Asslar, Deutschland

Die Turbo(molekular)pumpe wurde 1958 von Dr. W. Becker erfunden und entwickelte sich zur Standardlösung in einem weiten Bereich von Vakuumapplikationen. Die Gründe hierfür sind ihre einfache Installation, ihr einfacher Betrieb und die schnelle Einsatzbereitschaft. Kombiniert mit langen Wartungsintervallen führt dies zu niedrigen Kosten pro Saugvermögen. Als weitere Vorteile sind ihre exzellenten Saugvermögens- und damit Druckstabilität sowie der sehr geringe Einfluss auf die Restgaszusammensetzung zu nennen. Dies führt in Summe zu einem vernachlässigbaren Beitrag zur Vakuumkontamination. Schließlich führte die gute Anpassfähigkeit an unterschiedliche Betriebs- und Umgebungsbedingungen durch einfache Umsetzung von Auslegungs- und Konstruktionsänderungen im Laufe der Zeit zur Substitution von anderen Pumpenbauarten durch die Turbopumpe.

Einige dieser Erfolgsfaktoren resultieren einfach aus dem zugrundeliegenden physikalischen Prinzip, andere mussten im Laufe der Jahre entwickelt werden, um den Praxisanforderungen zu genügen.

Diese Präsentation gibt einen Überblick und erklärt an Beispielen das Funktionsprinzip und wichtige Auslegungsvarianten sowie die typischen Leistungsparameter. Darüber hinaus werden grundlegende Anwendungsregeln und Leistungsgrenzen sowie der Einfluss von Betriebs- und Umgebungsbedingungen auf die Pumpe erläutert.