Dresden 2011 – scientific programme

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MI: Fachverband Mikrosonden

MI 5: X-Ray Spectrometry and Tomography

MI 5.3: Talk

Tuesday, March 15, 2011, 10:30–10:45, BEY 81

Hochauflösende Elektronenstrahlmikroanalyse im Submikrometerbereich — •Jürgen Börder — JEOL (Germany) GmbH, Oskar-von-Miller-Str. 1A, 85386 Eching

Die Zusammensetzung von Festkörpern ist auf vielen wissenschaftlichen Gebieten eine wichtige Information. Bisher konnten die benötigten Informationen durch Elektronenstrahlmikrosonden ausreichend beantwortet werden. Die hierbei erreichte laterale Auflösung bewegte sich, je nach Zusammensetzung und Beschleunigungsspannung, bei ca. 1 µm.

Aufgrund immer kleiner werdender Strukturen versuchte man, unter entsprechenden Bedingungen, die Informationen unter 1 µm mit einem Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop und EDS zu erhalten. Bei geringen Anregungsspannungen von 6-8keV konnte die laterale Auflösung erreicht werden. Jedoch ließen sich aufgrund der schlechten Energieauflösung nur wenige Fragestellungen damit lösen.

Einen neuen Ansatz lieferte die Elektronenstrahlmikrosonde mit Thermischem Feldemitter. Bei dieser Anordnung verbindet man den hohen Strahlstrom bei kleinem Strahldurchmesser mit der guten spektralen Auflösung von Kristallspektrometern. Dadurch wurde eine Ortsauflösung von 200nm erreicht.