Dresden 2011 – wissenschaftliches Programm

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MS: Fachverband Massenspektrometrie

MS 3: Poster

MS 3.13: Poster

Montag, 14. März 2011, 16:00–18:00, P1

Massenspektroskopische Untersuchung von Flüssigmetall-Ionenquellen — •Martin Wortmann, Dirk Reuter und Andreas D. Wieck — Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl für Angewandte Festkörperphysik, Universitätsstr. 150, 44780 Bochum, Deutschland

Die Flüssigmetall-Ionenquelle (LMIS) ist heutzutage der bei weitem am meisten verwendete Quelltyp zur Erzeugung von fokussierten Ionenstrahlen (focused ion beam, FIB). Allerdings entstehen bei der Verwendung von LMIS nicht nur Monomere, sondern auch elektrisch geladene Cluster unterschiedlicher Masse. Zu diesem Prozess gibt es jedoch bis heute nur wenige systematische Untersuchungen. Insbesondere für die Untersuchung größerer Cluster (n > 10) ist die Auflösung der in herkömmlichen FIB-Systemen verwendeten Massenfilter nicht mehr ausreichend. Allerdings ist zu erwarten, dass die Ausbeute an Clustern, die mit Hilfe von LMIS realisiert werden kann, in einer Größenordnung liegt, die derartige Quellen als vielversprechendes Hilfsmittel zur Erzeugung monodisperser Cluster mit hinreichend hohen Fluenzen erscheinen lässt. Derzeit befindet sich bei uns ein hochauflösendes Massenspektrometer im Aufbau, dessen Auflösung ausreichend ist, das Emissionsverhalten unterschiedlicher LMIS zu untersuchen. Die Massentrennung kann hierbei sowohl durch einen E × B – Massenfilter als auch durch Time-of-Flight-Spektroskopie erreicht werden. Die Ergebnisse erster Berechnungen zeigen, dass mit Hilfe dieses Systems eine relative Massenauflösung von m/Δ m > 100 für Cluster mit Massen von mehr als 10000u (entsprechend etwa Ga₁₄₀ oder Bi₅₀) erreicht werden kann.