Dresden 2011 – wissenschaftliches Programm
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O: Fachverband Oberflächenphysik
O 36: Poster Session II (Metals; Nanostructures at surfaces; Surface or interface magnetism; Spin-Orbit Interaction at Surfaces; Electron and spin dynamics; Surface dynamics; Methods; Theory and computation of electronic structure)
O 36.53: Poster
Dienstag, 15. März 2011, 18:30–22:00, P4
Aufbau einer Magnetronsputteranlage zur Untersuchung dünner Schichten mit PAES, STM und XPS — •Elisabeth Lachner und Christoph Hugenschmidt — FRM II, TU München
In der vorliegenden Arbeit werden Oberflächenprozesse wie Bildung von Oberflächenlegierungen und Segregation untersucht. Neben Scanning Tunneling Microscopy (STM) und X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) soll die extrem oberflächensensitive Positron-annihilation induced Auger-Electron Spectroscopy (PAES) zum Studium der Oberflächenprozesse genutzt werden. Mittels PAES ließ sich bereits die Segregation von Cu in Pd eindrucksvoll beobachten [Phys. Rev. Lett. 105, 207401 (2010), Mayer et al.].
Zur Herstellung von atomaren Schichten im Submonolagenbereich wird eine UHV-Probenpräparationskammer aufgebaut. Diese arbeitet mit drei Magnetronsputterkanonen, einem heizbaren Probenhalter, einem Pyrometer und einem Schichtdickencontroller. Im Rahmen dieses Beitrags soll das gesamte Spektrometer samt Erweiterungen wie eine drehbare Ausführung des Probenhalters für größere Gleichmäßigkeit der Materialdeposition vorgestellt werden.