Karlsruhe 2011 – wissenschaftliches Programm

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T: Fachverband Teilchenphysik

T 66: Halbleiterdetektoren VI

T 66.4: Vortrag

Freitag, 1. April 2011, 14:45–15:00, 30.22: 022

Untersuchung von Siliziumstreifensensoren für den Einsatz am sLHC — Tobias Barvich, Felix Bögelspacher, Alexander Dierlamm, Frank Hartmann, •Karl-Heinz Hoffmann, Andreas Kornmayer, Thomas Müller, Hans-Jürgen Simonis und Pia Steck — Institut für Experimentelle Kernphysik (EKP), KIT

Die CMS Tracker Collaboration hat eine umfangreiche Kampagne gestartet, um die passende Technologie- und Materialgrundlage von Siliziumsensoren für zukünftige Spurdetektoren zu untersuchen. Im Rahmen dieser Kampagne werden 126 Wafer mit unterschiedlichen Sensoren und Teststrukturen auf verschiedenen Siliziummaterialien wie FZ, MCz und Epi als n- und p-Typ, sowie mit unterschiedlichen aktiven Dicken von 50 bis 320 µm untersucht. Neben der Technologie und dem Material werden auch neue Geometrien und Sensordesigns getestet und deren Funktionsfähigkeit geprüft. Im meinem Vortrag möchte ich erste Ergebnisse der Sensorqualifikation an den unterschiedlichen Materialtypen vorstellen und speziell Messungen an Sensoren mit integriertem Pitch-Adapter präsentieren. Diese haben den Vorteil, dass der bisher übliche zusätzliche Pitch-Adapter auf einem Glassubstrat entfällt und so Kosten und Material eingespart werden können.