Kiel 2011 – scientific programme

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K: Fachverband Kurzzeitphysik

K 3: Poster

K 3.4: Poster

Tuesday, March 29, 2011, 16:30–18:30, Foyer

Nanostrukturen in Dielektrika via geformter Femtosekunden Laserpulse — •Dirk Otto, Lars Englert, Jutta Mildner, Nadine Götte, Cristian Sarpe, Matthias Wollenhaupt und Thomas Baumert — Universität Kassel, Institut für Physik und CINSaT, Heinrich-Plett-Str. 40, D-34132 Kassel, Germany

Femtosekunden-Lasermaterialbearbeitung eröffnet in Kombination mit spektralen Pulsformungstechniken die Möglichkeit, die primären Ionisationsprozesse (Multiphotonen- und Avalanche-Ionisation) zu beeinflussen [1]. Die ultrakurze zeitlich geformte Laserstrahlung wird durch ein Mikroskopobjektiv auf Dielektrika fokussiert, wobei Strukturgrößen weit unterhalb der Beugungslimitierung erreicht werden [2].

Der eingesetzte Pulsformer ermöglicht u.a. die Erzeugung von Doppelpulsen mit einer Verzögerungszeit von bis zu 10 ps. Anhand von Rasterkraft- (AFM) und Rasterelektronenmikroskopie (REM) werden die an Quarzglas und Saphir erzeugten Lochstrukturen im Hinblick auf Strukturgröße, Schwellwert für Materialbearbeitung und Morphologie untersucht. Der Einfluss der Verzögerungszeit und verschiedener numerischer Aperturen (0,5 und 0,8) auf die Ablationsstrukturen werden diskutiert.

[1] L. Englert et al., Opt. Express 15, 17855–17862 (2007)

[2] L. Englert et al., Appl. Phys. A 92, 749–753 (2008)