Kiel 2011 – wissenschaftliches Programm

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K: Fachverband Kurzzeitphysik

K 3: Poster

K 3.5: Poster

Dienstag, 29. März 2011, 16:30–18:30, Foyer

Lasermikrostrukturierung mit Femtosekunden- und Fluorlaserstrahlung — •Andy Engel, Manuel Pfeiffer, Steffen Weißmantel und Falk Hähnel — Hochschule Mittweida, Technikumplatz 17, 09648 Mittweida, Germany

Die Ergebnisse der Lasermikrostrukturierung verschiedener Metalle, Hartstoffe und Dielektrika mittels Femtosekundenlaser und Fluorlaser werden vorgestellt. Zu Beginn wird auf die durchgeführten grundlegenden Abtragsuntersuchungen an den jeweiligen Materialien sowie die Optimierung der Prozess- und Bearbeitungsparameter eingegangen. Die für eine reproduzierbare, hochgenaue Mikromaterialbearbeitung ermittelten Abhängigkeiten der Qualitätsparameter Auflösung, Kantensteilheit sowie resultierende Rauheit der Strukturwände von den gewählten Strukturierungsparametern werden aufgezeigt. In diesem Zusammenhang werden weiterhin Möglichkeiten zur Verringerung bzw. Vermeidung der Rissbildung bei der Bearbeitung von spröden, dielektrischen Materialien mit hoher Energiebandlücke wie Calciumfluorid und Magnesiumfluorid erläutert. Ein Vergleich der mit den genutzten Laseranlagen erzielbaren Qualitäten erfolgt beispielhaft an in den untersuchten Materialien realisierten Mikrostrukturen wie Bohrungen, Gräben, Vertiefungen und auch komplexen 3D-Stukturen wie Pyramiden und Halbkugeln.