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K: Fachverband Kurzzeitphysik

K 4: Licht- und Strahlungsquellen

K 4.2: Vortrag

Mittwoch, 30. März 2011, 10:45–11:00, HS D

Elektronenstrahlunterstützte und -gezündete Hochfrequenzgasentladungen — •Thomas Dandl¹, Thomas Heindl¹, Reiner Krücken¹, Jochen Wieser² und Andreas Ulrich¹ — ¹Physik Department E12, TU-München, 85748 Garching, Deutschland — ²Optimare Analytik GmbH & Co KG, 26382 Wilhelmshaven, Deutschland

Durch die Verwendung sehr dünner Keramikmembranen wird es möglich, Elektronenstrahlexperimente mit sehr kompakten Geräten durchzuführen. Insbesondere gelingt es, Niedertemperaturplasmen bei Atmosphärendruck zu erzeugen. Dies wurde genutzt, um in diese Plasmen mit Hilfe eines 1 bzw. 2,45 GHz Hochfrequenzgenerators zusätzlich Leistung in das Plasma einzukoppeln. Die Experimente wurden mit Argon und Krypton durchgeführt. Diese Gase emittieren bei 1 bar Druck und reiner Elektronenstrahlanregung fast ausschließlich Licht im Bereich des so genannten 2. Excimer- Kontinuum im Vakuumultraviolett. Es wird gezeigt, dass die zusätzliche HF Einkopplung die Emission des 1. Excimer * Kontinuums deutlich verstärkt. Bei weiter verstärkter HF Leistung zündet schließlich eine selbst brennende HF Entladung, die als eine hoch brillante VUV - Lichtquelle fast bis herab zur Resonanzlinie von Argon bei 106,7 nm genutzt werden kann.

Gefördert durch das BMBF Vorhaben 13N9528 *SAFE INSIDE*.