Kiel 2011 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 14: Plasmatechnologie II

P 14.1: Invited Talk

Wednesday, March 30, 2011, 14:00–14:30, HS H

Miniaturisierte Plasmajets für die Oberflächenbehandlung — •Rüdiger Foest, Jan Schäfer, Florian Sigeneger und Klaus-Dieter Weltmann — Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie Greifswald e.V.

Anisotherme Plasmajets sind von Interesse für die lokale Oberflächenbehandlung unter Normaldruck. Zu den hierbei relevanten Oberflächenprozessen zählen das Plasmaätzen, die Plasmafeinreinigung, die plasmachemische Oberflächenfunktionalisierung und die Abscheidung dünner Schichten, für die bereits einige Applikationen bekannt sind. Nach einem kurzen Überblick über aktuelle Entwicklungen erfolgt eine Fokussierung des Vortrages auf die Abscheidung dielektrischer Funktionsschichten aus siliziumorganischen Ausgangsstoffen mit Hilfe eines HF-Kapillarjets. Es werden plasmadiagnostische und Modellansätze erörtert, die eine Beurteilung der in diesem speziellen Plasma herrschenden Bedingungen gestatten. Korrelieren lassen sich die gefundenen Plasmaeigenschaften mit der chemisch-strukturellen Charakteristik der wachsenden Schicht unter Ausnutzung der Ergebnisse einer komplexen Analyse des statischen Schichtabscheidungsprofils mit mehreren oberflächenanalytischen Verfahren.