Kiel 2011 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 14: Plasmatechnologie II

P 14.2: Vortrag

Mittwoch, 30. März 2011, 14:30–14:45, HS H

Untersuchung verschiedener Precursoren zur lokalen Plasmajetbeschichtung — •Manuela Janietz und Thomas Arnold — Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung, Leipzig, Deutschland

Atmosphärische Plasmajets stehen gegenwärtig im Mittelpunkt zahlreicher Untersuchungen zur Schichtabscheidung, da sie es ermöglichen, durch die Wahl geeigneter Precursoren lokal sehr verschiedene Materialien unter normalen Umgebungsbedingungen aufzutragen. Dieser Vortrag beschäftigt sich mit der Untersuchung der Abscheidung mittels gängiger Precursoren zur Herstellung von Siliziumoxid und a-CN-Schichten. Getestet wurden Hexamethyldisiloxan (HMDSO), Propanol und Methan. Die Experimente wurden mit einer am IOM entwickelten Plasmajetquelle durchgeführt, die sowohl mit Helium als auch mit Argon betrieben werden kann. Die Anregung der Prozessgase, denen auch der Precursor beigemischt wird, erfolgt mittels gepulster Mikrowellenenergie bei 2,45 MHz. Die hergestellten Schichten wurden mit verschiedenen Methoden (REM, IR-Spektroskopie, XPS, etc.) hinsichtlich ihrer chemischen Zusammensetzung und physikalischer Eigenschaften umfangreich charakterisiert. Aus den Ergebnissen lassen sich Aussagen zur Anwendbarkeit der Schichten zur lokalen deterministischen Oberflächenformgebung mit Nanometergenauigkeit gewinnen.