Kiel 2011 – wissenschaftliches Programm
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P: Fachverband Plasmaphysik
P 14: Plasmatechnologie II
P 14.4: Vortrag
Mittwoch, 30. März 2011, 15:00–15:15, HS H
Energiestrommessungen an Atmosphärendruck-Plasmajetquellen — •Maik Fröhlich1, Sven Bornholdt1, Stefan Wrehde2, Christoph Regula2, Jörg Ihde2 und Holger Kersten1 — 1Institut für Experimentelle und Angewandte Physik, Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, D-24098 Kiel — 2Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung, D-28359 Bremen
Atmosphärische Plasmajetquellen bieten im Hinblick auf die Anwendungsmöglichkeiten gegenüber Niederdruckplasmen wesentliche Vorteile. Zum einen ist ein Verzicht auf kosten- und zeitintensive Pump- und Vakuumapparaturen möglich, wodurch diese Quellen leicht in bestehende Prozessabläufe und Produktionsketten zu integrieren sind. Zum anderen reichen ihre Einsatzgebiete von der Oberflächenbehandlung bis hin zur Abscheidung funktioneller plasmapolymerer Schichten.
Besonders für die Behandlung und Beschichtung polymerer Werkstoffe ist die Temperaturbelastung durch die Plasmajetquelle ein wichtiger Punkt, der in der Regel die Behandlungsmöglichkeiten begrenzt. Durch die Kenntnis des Energieeinstroms auf die zu bearbeitende Materialoberfläche kann das Behandlungsergebnis oder die Qualität der Beschichtungen deutlich optimiert werden. Diese Arbeit präsentiert die Analyse des Energieeinstroms an kommerziellen Plasmajetquellen. Als Messsonde kommt hierbei eine selbstentwickelte kalorimetrische Sonde zum Einsatz. Insbesondere wird der Einfluss wichtiger Parameter, wie der Abstand zum Substrat, die Art und Menge der Prozessgase und -gasmischungen sowie die Entladungsleistung, diskutiert.