Kiel 2011 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 16: Poster: Niedertemperaturplasmen

P 16.13: Poster

Wednesday, March 30, 2011, 16:30–18:30, Foyer

Eine kontinuierlich arbeitende Sonde zur Messung des Energieeinstromes bei plasmatechnologischen Prozessen — •Ruben Wiese¹ und Holger Kersten² — ¹Institut für Plasmaphysik und Technologie Greifswald — ²Institut für Experimentelle und Angewandte Physik, Universität Kiel

Fast alle plasmatechnologischen Anwendungen basieren auf der Plasma-Wand-Wechselwirkung, die u.a. mit kalorimetrischen Thermosonden zur Messung des Energieeintrages aus dem Plasma charakterisiert werden kann. Bekannt sind passive Sonden, die auf dem Prinzip basieren, den Temperaturverlauf beim Aufheiz- und Abkühlvorgang aufzunehmen und daraus den Energieeintrag zu berechnen. Eine kontinuierliche Messung ist mit diesen Sonde nicht möglich. Weiterhin sind aktive Sonden bekannt, bei denen der Energieeintrag durch Messung eines Temperaturgefälles bestimmt wird. Die Temperatur dieser herkömmlichen aktiven als auch passiven Sonden ist nicht frei wählbar und eine Kalibrierung vor dem Messvorgang notwendig.

Eine nach einem anderen Prinzip kontinuierlich arbeitende aktive Sonde wird vorgestellt, bei der keine Kalibrierung notwendig ist und die Wärmeableitung durch die Halterung der Sonde sowie die Umgebungseinflüsse kompensiert werden. Die bei Beschichtung sich ändernde Wärmekapazität der Sonde ist ebenfalls ohne Einfluss auf den Messwert.