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P: Fachverband Plasmaphysik

P 16: Poster: Niedertemperaturplasmen

P 16.3: Poster

Mittwoch, 30. März 2011, 16:30–18:30, Foyer

Messung und Modellierung von Ionendichten in HF-angeregten Wasserstoff- und Deuteriumplasmen — •David Ertle¹, Dirk Wünderlich² und Ursel Fantz^1,2 — ¹Lehrstuhl für Experimentelle Plasmaphysik, Universität Augsburg, 86135 Augsburg — ²Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, EURATOM Assoziation, 85748 Garching

In einem planar induktiv gekoppelten HF-Plasmaexperiment (Frequenz: 27,12 MHz) werden mittels optischer Emissionsspektrometrie, energieauflösender Massenspektrometrie und Langmuirsondenmessungen Plasmaparameter und absolute Ionendichten in Wasserstoff- und Deuteriumplasmen bestimmt. In einem ersten Schritt werden experimentelle Ergebnisse für H₂-Plasmen zusammen mit modellierten Werten aus dem Dissoziations-/Ionisationsmodell Yacora für Wasserstoff vergleichend diskutiert. Für das Modell nötige Inputparamter (z.B. Elektronendichte und -temperatur) wurden experimentell bestimmt. Zielsetzung ist die Überprüfung der Validität des theoretischen Modells und die Identifikation der die Ionenverteilung bestimmenden Prozesse. Im zweiten Schritt erfolgt dann anhand eines Vergleichs modellierter Ionendichten mit in D₂-Plasmen gemessenen Werten eine Diskussion von Isotopeneffekten von D₂ gegenüber H₂. Es werden Ergebnisse in einem Druckbereich von 4 Pa bis 20 Pa bei verschiedenen Einkopplungsleistungen vorgestellt.