Kiel 2011 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 17: Poster: Plasmatechnologie

P 17.16: Poster

Mittwoch, 30. März 2011, 16:30–18:30, Foyer

Entladungsdynamik eines mikrostrukturierten Atmosphärendruck-Entladungskanals — Arthur Greb, Henrik Boettner, Jörg Winter und •Volker Schulz-von der Gathen — Institut f. Experimentalphysik II, Ruhr-Universität Bochum, Universitätsstr. 5 , 44801 Bochum

Vorgestellt werden kombinierte phasen- und ortsaufgelöste spektroskopische und elektrische Untersuchungen an einem mikro-strukturierten Plasmakanal, der nahe Atmosphärendruck betrieben wird. Diese Entladung besteht aus einem 50 Mikrometer breiten in Silizium geätzten Kanal mit dreieckigem Querschnitt und einer Länge von ca. 3 cm. Zwischen der Silizium-Wafer und auf die Oberfläche aufgedampfte Nickel-Elektroden werden Spannungen bei Frequenzen von einigen kHz bei Betrieb in Edelgasen angelegt. In beiden Anregungsphasen werden kurzzeitige Serien von Emissionspulsen beobachtet, deren Charakteristika von Druck, Gasart und Anregungsfrequenz abhängig sind. Wie in bereits vorgestellten Arrays von einzelnen Mikroentladungen beobachtet man reproduzierbare Bewegungen der Emissionsstrukturen. Im Gegensatz zu diesen ist die Ausbreitungsgeschwindigkeit mit weniger als 1 km/s etwa eine Größenordung langsamer. Gefördert im Projekt A1 der Forschergruppe FOR1123.