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P: Fachverband Plasmaphysik

P 17: Poster: Plasmatechnologie

P 17.18: Poster

Mittwoch, 30. März 2011, 16:30–18:30, Foyer

Kombination von Cross-correlation Spectroscopy, Oberflächenladungsmessung und LIF von Metastabilen in Barrierenentladungen — •Marc Bogaczyk, Sebastian Nemschokmichal, Robert Wild, Hans-Erich Wagner und Jürgen Meichsner — Ernst-Moritz-Arndt Universität Greifswald, 17489 Greifswald

Barrierenentladungen werden vielfach, z.B. für die Ozonsynthese und Oberflächenbearbeitung sowie bei Excimerlampen, eingesetzt und besitzen ein großes Potential für weitere Anwendungen. Zum detaillierten Verständnis ihrer Mechanismen (Zündung, Entladungsmodus, Stabilität, usw.) ist es insbesondere notwendig, die Entwicklung des Plasmas sowohl im Volumen als auch dessen Wechselwirkung mit nichtleitenden Oberflächen zu untersuchen. Letztere ist mit der Ausbildung von Oberflächenladungen und einer Sekundärteilchenemission (Elektronen), u.a. durch Ionen und Metastabile, verbunden. Es wird eine neue Entladungsanordnung vorgestellt, die räumlich-, zeitlich-, spektral- und phasenaufgelöste Messungen der Entladungs-induzierten optischen Emission mittels „Cross-correlation Spectroscopy (CCS)“ und eine quantitative Bestimmung der Oberflächenladungen unter Ausnutzung des optoelektrischen Pockels-Effekts ermöglicht. In einer zweiten identischen Entladungszelle werden räumlich aufgelöste Konzentrationen des metastabilen N₂(A³Σ_u⁺)-Moleküls mittels Laser-induzierter Fluoreszenz (LIF) und Rayleigh-Streuung bestimmt. Die Barrierenentladung wird in He/N₂-Gemischen bei Atmosphärendruck betrieben.
Gefördert von der DFG im Rahmen des SFB TRR-24, Teilprojekt B11.