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SYPD: Symposium Plasmadeposition von optischen und mechanischen Funktionsschichten

SYPD 1: Plasma und optische Funktionsschichten I

Dienstag, 29. März 2011, 10:30–12:25, HS G

	10:30	SYPD 1.1	Einführung in das Symposium — •Detlev Ristau
	10:40	SYPD 1.2	Hauptvortrag: Plasmagestützte Prozesse für die Optik — •Henrik Ehlers
	11:10	SYPD 1.3	Hauptvortrag: Plasma und Optische Technologien (PluTO) — •Norbert Kaiser
	11:40	SYPD 1.4	Hauptvortrag: Untersuchungen zur APS - Plasmaexpansion und Konsequenzen für die Prozessführung — •Jens Harhausen, Rüdiger Foest, Andreas Ohl und Hartmut Steffen
	12:10	SYPD 1.5	Construction and characterization of microplasma jet for thin film deposition on inner surface of tubes. — •Ramasamy Pothiraja, Nikita Bibinov, and Peter Awakowicz