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SYPD: Symposium Plasmadeposition von optischen und mechanischen Funktionsschichten
SYPD 1: Plasma und optische Funktionsschichten I
Dienstag, 29. März 2011, 10:30–12:25, HS G
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10:30 | SYPD 1.1 | Einführung in das Symposium — •Detlev Ristau |
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10:40 | SYPD 1.2 | Hauptvortrag: Plasmagestützte Prozesse für die Optik — •Henrik Ehlers |
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11:10 | SYPD 1.3 | Hauptvortrag: Plasma und Optische Technologien (PluTO) — •Norbert Kaiser |
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11:40 | SYPD 1.4 | Hauptvortrag: Untersuchungen zur APS - Plasmaexpansion und Konsequenzen für die Prozessführung — •Jens Harhausen, Rüdiger Foest, Andreas Ohl und Hartmut Steffen |
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12:10 | SYPD 1.5 | Construction and characterization of microplasma jet for thin film deposition on inner surface of tubes. — •Ramasamy Pothiraja, Nikita Bibinov, and Peter Awakowicz |