Kiel 2011 – scientific programme

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SYPD: Symposium Plasmadeposition von optischen und mechanischen Funktionsschichten

SYPD 2: Plasma und optische Funktionsschichten II

SYPD 2.1: Invited Talk

Tuesday, March 29, 2011, 13:30–14:00, HS G

Die Multipole-Resonanz-Sonde: Charakterisierung eines Prototyps — •Ralf Peter Brinkmann und und das MRP Team — Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

Im Rahmen des BMBF-Projektes PluTO wird die Multipol-Resonanz-Sonde (MRP) als eine industrietaugliche und kostengünstige Methode zur Bestimmung von Plasmaparametern untersucht. Dieser Vortrag berichtet über die experimentelle Charakterisierung eines ersten MRP-Protptyps in einem induktiv gekoppelten Argon/Stickstoff-Plasma bei 10 Pa. Das Verhalten der Sonde folgt der Veraussagen sowohl eines analytischen Modells als auch einer numerischen Simulation. Die durch die Sonde bestimmten Elektronendichten sind in exzellenter Übereinstimmung mit den Ergebnissen parallel durchgeführter Langmuirsonden-Messungen.