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SYPD: Symposium Plasmadeposition von optischen und mechanischen Funktionsschichten

SYPD 2: Plasma und optische Funktionsschichten II

SYPD 2.3: Hauptvortrag

Dienstag, 29. März 2011, 14:30–15:00, HS G

Plasmasonden in IBS-Prozessen — •Carsten Schmitz — Laser Zentrum Hannover e.V.

Ein weit verbreitetes, ionenbasiertes Beschichtungsverfahren für hochwertige Optiken ist das Ion Beam Sputtering (IBS). Obwohl es sich um einen äußerst stabilen Prozess handelt, ist das eigentliche Verständnis der grundlegenden Mechanismen noch relativ gering. Deshalb soll durch Erweiterungen der Prozesskontrolle mit ausgewählten Plasmasonden der Mangel an physikalischem Hintergrundwissen reduziert werden. Dazu wird mittels optischer Emissionsspektroskopie (OES) der Reaktivprozess auf der Targetoberfläche verfolgt sowie mit einer Langmuirsonde und einem Gegenfeldanalysator (GFA) der abgestäubte Materialstrom analysiert.