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SYPD: Symposium Plasmadeposition von optischen und mechanischen Funktionsschichten

SYPD 2: Plasma und optische Funktionsschichten II

Dienstag, 29. März 2011, 13:30–16:00, HS G

	13:30	SYPD 2.1	Hauptvortrag: Die Multipole-Resonanz-Sonde: Charakterisierung eines Prototyps — •Ralf Peter Brinkmann und und das MRP Team
	14:00	SYPD 2.2	Hauptvortrag: Charakterisierung der ionenunterstützten Abscheidung von TiO2-Filmen in einer APS-Plasmaquelle — •Peter Awakowicz, Nikita Bibinov, Tim Styrnoll, Carsten Schmitz und Detlev Ristau
	14:30	SYPD 2.3	Hauptvortrag: Plasmasonden in IBS-Prozessen — •Carsten Schmitz
	15:00	SYPD 2.4	Hauptvortrag: Struktur-Eigenschaftsbeziehung bei PIAD-Schichten — •Olaf Stenzel
	15:30	SYPD 2.5	Hauptvortrag: Struktur und elektronische Eigenschaften amorpher TiO2± x und Al2O3 Schichten, sowie des amorphen TiO2-SiO2-Interfaces — •Thomas Köhler, Grygoriy Dolgonos, Michael Bogucki und Thomas Frauenheim