Berlin 2012 – wissenschaftliches Programm

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MI: Fachverband Mikrosonden

MI 1: Innovations in synchrotron X-ray studies

MI 1.2: Tutorium

Sonntag, 25. März 2012, 16:45–17:30, EW 202

Hochaufgelöste Röntgenbeugung an niedrigdimensionalen Halbleiterstrukturen — •Michael Hanke — Paul-Drude-Institut für Festkörperelektronik

Hochaufgelöste diffuse Röntgenbeugung ist eine weitestgehend etablierte Methode, um geringste mechanische Deformationen in Nanostrukturen nachzuweisen. So lässt sich neben der Form und Positionskorrelation sehr genau die Variation des lokalen Gitterparameters bestimmen. Eine zentrale Ursache für diese mechanischen Deformationen stellt die sich beim Wachstum einstellende chemische Zusammensetzung dar. Fern von Absorptionskanten verschwindet jedoch deren direkter Einfluss auf die diffuse Röntgenstreuung nahezu vollständig, während die mechanische Deformation als Kontrastmechanismus dominiert. Insofern lässt sich indirekt von der diffusen Streuung ausgehend, über den Umweg der Deformation, auf die chemischen Profile schließen. Ohne deren detaillierte Kenntnis lassen sich die zugrunde liegenden, oft hochkomplexen Wachstums- und Selbstorganisationsphänomene kaum verstehen.

Der Vortrag gibt zunächst einen Überblick über verschiedene Verfahren der hochaufgelösten Röntgenbeugung und die Simulation diffuser Streuintensitäten im Rahmen der kinematischen Näherung. Beispielhaft wird die Strukturaufklärung an Objekten wie Nanowires, Einzelquantenpunkten, Quantenpunktmolekülen, deren Entwicklungsstadien sowie an freistehenden und vergrabenen Doppelringstrukturen im Nanometerbereich diskutiert.