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MI: Fachverband Mikrosonden

MI 2: TEM- and SEM-based material analysis

MI 2.4: Vortrag

Montag, 26. März 2012, 11:15–11:30, EMH 225

Aktuelle Ergebnisse mit den HRTEM JEOL JEM-ARM 200F — •Jürgen Heindl — JEOL (Germany) GmbH, Oskar-von-Miller-Str. 1a, 85386 Eching

Das JEOL JEM-ARM 200F ist das erste Transmissions-Elektronen-Mikroskop das von Grund auf ausschließlich für den Betrieb mit Korrektoren für die Aberration der Linsen entwickelt wurde. Es können sowohl die limitierenden Aberrationen im STEM (Scanning Transmission Electron Microscopy) Betrieb (CESCOR) als auch die des Objektivs in der hochauflösenden Transmissionselektronenmikroskopie (HREM, CETCOR) bzw. beide ausgeglichen werden. Ergänzend kann das System an Stelle der Schottky-Feldemissionskathode mit einer völlig neuartigen kalten Feldemissionsquelle (ColdFEG) mit sehr geringer Energiebreite mit hoher Intensität ausgerüstet werden. Im STEM-Betrieb zeigt die ColdFEG deutlich verbesserte Abbildungsleistungen gegenüber einer Schottky-Quelle, was bei der direkten Abbildung der H-Atome in Yttriumhydrid gezeigt wird. Im HREM-Betrieb ist die ColdFEG anderen Lösungen überlegen, weil die geringe Energiebreite der Primärelektronen unmittelbar auf die Auflösung verbessert. Der Nachteil einer polychromen Beleuchtung entfällt; die Bildergebnisse sind vollumfänglich simulierbar. Ein vollanalytisches JEM-ARM200F zeichnet sich durch den neuen JEOL Centurio-EDX- Detektor aus. Der Centurio-Detektor erreicht seine sehr hohe Empfindlichkeit durch eine aktive Fläche von 100 mm2 und einen Raumwinkel von 1 sr. Mit der neuen ColdFEG wird ein Echtzeit-EDX-Mapping an SrTi03 und GaAs gezeigt.