Stuttgart 2012 – scientific programme

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K: Fachverband Kurzzeitphysik

K 7: Laseranwendungen und Lasermaterialbearbeitung II

K 7.2: Talk

Thursday, March 15, 2012, 14:15–14:30, V57.04

Strukturierung und Analyse dünner Schichten mittels laserinduzierter Plasmaspektroskopie — •Christian Beresko, Christian Silbernagel, Peter Kohns und Georg Ankerhold — RheinAhrCampus Remagen, University of Applied Sciences Koblenz, Suedallee 2, 53424 Remagen

Unter der laser-induzierten Plasmaspektroskopie (LIBS) versteht man ein schnelles, berührungsfreies, minimal zerstörendes Verfahren der optischen Materialanalyse, das das charakteristische spektrale Leuchten einer lasergenerierten Mikro-Plasmaquelle auswertet. Gleichzeitig ist damit auch eine Laser-Mikrostrukturierung dünner Schichten möglich. Wir zeigen an ausgewählten Schichtsystemen wie Indium-Zinn-Oxid (ITO), dass die Kombination beider Verfahren über eine semi-quantitative Analyse das gesteuerte Abtragen und damit die gezielte Strukturierung der Schichten erlaubt. Mögliche eingelagerte Verunreinigungen können dabei sicher detektiert werden.

Bei den Untersuchungen wurden verschiedene LIBS-Systeme eingesetzt, unter anderem ein selbstentwickeltes, vollständig fasergeführtes kompaktes System mit geringer Pulsenergie und hoher Repetitionsrate.

Gefördert durch die Stiftung Rheinland-Pfalz für Innovation