Stuttgart 2012 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 14: Poster: Plasmatechnologie

P 14.15: Poster

Mittwoch, 14. März 2012, 16:30–19:00, Poster.III

Teilchentransport und Schichtbildung mittels eines rf-angeregten Plasma-Jets — •F. Sigeneger, J. Schäfer, R. Foest, D. Loffhagen und K.-D. Weltmann — INP Greifswald, Felix-Hausdorff-Str. 2, 17489 Greifswald

Ein rf-angeregter Plasma-Jet ist Gegenstand experimenteller und theoretischer Untersuchungen. Der Jet besteht aus zwei koaxial angeordneten Kapillaren, durch die Argon bzw. ein Gemisch aus Argon und einem Präkursor strömt. Die Plasmaerzeugung erfolgt mit Hilfe zylindrischer Elektroden, über die eine rf-Spannung bei einer Frequenz von 27.12 MHz eingespeist wird. Die Entladung arbeitet je nach Entladungsparametern in verschiedenen Entladungsmodi. Ein Fluidmodell beschreibt den Transport aktiver Teilchen aus dem aktiven Plasmavolumen in den Effluenten und zum Target. Dabei kommt ein vereinfachtes reaktionskinetisches Modell angeregter Spezies mit den Molekülen des Präkursors zum Einsatz. Mit Hilfe experimenteller Methoden wird das Wachstum der mit dem Jet erzeugten SiO₂-Schichten in Abhängigkeit von den Durchflussraten der Argon- und Präkursorkomponenten untersucht. Die Schichten werden durch profilometrische und elektronenmikroskopische Analysen charakterisiert. Die daraus resultierenden Radialprofile bzw. die Schichtstruktur sowie örtlich aufgelöste Abscheidungsraten werden mit den Ergebnissen des Modells verglichen.