Stuttgart 2012 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 14: Poster: Plasmatechnologie

P 14.18: Poster

Wednesday, March 14, 2012, 16:30–19:00, Poster.III

Bestimmung der optischen Eigenschaften von quarzartigen Hochrate-Plasmapolymerschichten — •Moritz Scholze, Stefan Merli, Andreas Schulz, Matthias Walker und Ulrich Stroth — Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart, Pfaffenwaldring 31, 70569 Stuttgart

Bei nahezu allen optischen Bauelementen, wie z.B. Linsen, Spiegeln oder auch Fenstermaterialien, werden dünne Schichten bereits vielfältig eingesetzt. Allerdings konnten bisher nur begrenzt Kunststoffmaterialien, mangels ausreichenden Kratzschutzes, zur großflächigen Verscheibung in der Architektur eingesetzt werden. Dünne, optisch transparente Siliziumoxidschichten bieten eine optimale Möglichkeit, diese Anforderungen zu erfüllen.

Daher werden in diesem Beitrag die optischen Eigenschaften von quarzartigen Hochrate-Plasmapolymerschichten für großflächige Beschichtungen untersucht.

Die Schichten werden aus dem Monomer Hexamethyldisiloxan in einem Niederdruck-Mikrowellenplasmaprozess abgeschieden und auf ihre Eigenschaften, wie chemische Zusammensetzung und Morphologie untersucht. Da sie für optisch transparente Materialien eingesetzt werden sollen, liegt die Kernaufgabe in der Untersuchung der optischen Eigenschaften, wie Transmission, Reflexion und Absorption, welche mittels Photospektrometrie bestimmt werden. Die Abhängigkeit des daraus bestimmten Brechungsindexverlaufs von den Beschichtungsparametern und der chemischen Zusammensetzung, gemessen mittels FTIR-Spektroskopie, wird untersucht und vorgestellt.