Stuttgart 2012 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 14: Poster: Plasmatechnologie

P 14.3: Poster

Mittwoch, 14. März 2012, 16:30–19:00, Poster.III

Maßgeschneiderte Ionen-Energie Verteilungsfunktionen online berechnen für Jedermann — •Martin Predki, Mohammed Shihab, Alexander Wollny, Thomas Mussenbrock und Ralf Peter Brinkmann — Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik, Ruhr-Universität Bochum

Plasmaprozesse, insbesondere Plasmaätz- und Plasmaabscheideprozesse sind die Grundlage für eine Vielzahl von industriellen Fertigungsprozessen. In diesen Prozessen spielt die Kenntnis der Energieverteilung der Ionen eine entscheidende Rolle: diese entscheidet maßgeblich über die Qualität der Prozesse und damit über die Wirtschaftlichkeit. Allerdings ist eine Messung der Verteilungsfunktionen schwierig und in industriellen Prozessen in-situ unmöglich. Eine Alternative dazu bieten Modelle.

Mit diesem Beitrag wird ein selbstkonsistentes Modell vorgestellt, dass online für Interessierte bereit steht. Die Simulation der Ionen-Verteilungsfunktion wird über eine Weboberfläche, welche unter sheath.tet.rub.de zugänglich ist, gestartet. Die Verteilungsfunktion wird nach erfolgreicher Simulation im Browser angezeigt.

Diese Arbeit wird im Rahmen der D-Grid-Initiative des BMBF im Rahmen des PT-Grid-Projekts unterstützt.