Stuttgart 2012 – scientific programme

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 14: Poster: Plasmatechnologie

P 14.5: Poster

Wednesday, March 14, 2012, 16:30–19:00, Poster.III

Vergleichende Untersuchung zur Abscheidung quarzähnlicher Schichtsysteme aus Siloxanen in einem ECR-Plasma — •Sandra Gaiser, Andreas Schulz, Matthias Walker und Ulrich Stroth — Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart, Pfaffenwaldring 31, 70569 Stuttgart

Bei Kunststoffverpackungen für Lebensmittel oder Medikamente sind gute Barriereeigenschaften gefragt. Um zu verhindern, dass eine Permeation von Gasen wie CO₂, Sauerstoff oder Wasserdampf in eine Verpackung hinein oder aus ihr heraus stattfindet, können die Verpackungen mit einer plasmapolymerisierten Barriereschicht versehen werden.
Dieser Beitrag beschäftigt sich mit der Herstellung und Charakterisierung von Barriereschichten, die aus den Gasen HMDSO (Hexamethyldisiloxan) und OMCTS (Octamethylcyclotetrasiloxan) jeweils zusammen mit Sauerstoff auf einer Polyethylenterephthalat-Folie (PET) abgeschieden wurden. Die Herstellung der Schichten erfolgte in einem Elektron-Zyklotron-Resonanz-Plasma. Bei der Beschichtung wurden die Schichtdicke sowie das Mischungsverhältnis zwischen HMDSO bzw. OMCTS und Sauerstoff variiert.
Die Schichten wurden auf ihre Barriereeigenschaften bzgl. Sauerstoffpermeation untersucht. Mithilfe der Infrarot-Absorptionsspektroskopie konnte die genaue Zusammensetzung der Schichten und mit einem Rasterelektronenmikroskop deren Morphologie untersucht werden.