Stuttgart 2012 – wissenschaftliches Programm
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P: Fachverband Plasmaphysik
P 20: Poster: Diagnostik
P 20.14: Poster
Donnerstag, 15. März 2012, 16:30–19:00, Poster.III
Einfluss der geometrischen Dimension auf die Wechselwirkung von Kavitäten mikro-strukturierter Plasmaarrays — Mukesh Kuslreshath1, Henrik Böttner2, Remi Dussart1 und •Volker Schulz-von der Gathen2 — 1GREMI, Université d’Orléans, 14 rue d*Issoudun, F-45067 Orleans Cedex 2 — 2Institut für Experimentalphysik II, Ruhr-Universität Bochum, Bochum
Zwei-dimensionale Mikroplasmaarrays können mit Hilfe von Mikrostrukturtechniken hergestellt werden. Die hier untersuchten Arrays basieren auf einem planen, geerdeten Siliziumwafer auf dem eine isolierte Nickel-Gitterelektrode aufgebracht ist. Diese dielektrisch behinderten Entladungen werden bei einigen 10 kHz mit Spannungen von einigen hundert Volt betrieben. In sub-arrays auf dem wafer angeordnete Einzelkavitäten wurden hier rechteckig ausgelegt mit Breiten von 25 bis 150 µm und Längen bis zu 500 µm. Wir berichten von Untersuchungen des zeitabhängigen Zündverhaltens in Edelgasen zwischen 200 und 1000 mbar. Strom-Spannungscharakteristiken dieser Arrays wurden in Kombination mit phasen-aufgelösten Aufnahmen untersucht. Die Anordnung der Kavitäten erlaubt den Vergleich der Charakteristik der ersten Zündung unter ansonsten identischen Verhältnissen mit derjenigen im repetierenden Betrieb zu vergleichen. Die beobachteten Abweichungen können auf die komplexen Transport- und Wechselwirkungsmechanismen zurückgeführt werden. Zusätzlich wurde die Abhängigkeit der Ausbreitung von Ionisationswellen von der Kavitätendimension untersucht. Gefördert von der DFG im Projekt A1 der Forschergruppe FOR 1123.