Stuttgart 2012 – scientific programme
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P: Fachverband Plasmaphysik
P 20: Poster: Diagnostik
P 20.4: Poster
Thursday, March 15, 2012, 16:30–19:00, Poster.III
Identifizierung geeigneter Emissionslinien von Edelgasen zur Elektronentemperaturbestimmung in Niederdruckplasmen — •Uwe Kurutz1 und Ursel Fantz1,2 — 1Lehrstuhl für Experimentelle Plasmaphysik, Universität Augsburg, 86135 Augsburg — 2Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, EURATOM Assoziation, 85748 Garching
In vielen plasmaphysikalischen Anwendungen kommen Edelgase als Diagnostikgas zum Einsatz. So ist unter anderem die Bestimmung der Elektronentemperatur aus der Emissionsline von Helium bei 728,1 nm über Stoßstrahlungsmodell wie z.B. ADAS ein etabliertes Verfahren. Auch für Argon kann über ein Stoßstrahlungsmodell (hier Yacora Argon) unter anderem aus der 750,5 nm Linie Te bestimmt werden. Um die Bandbreite an Diagnostikgasen zu erweitern, werden geeignete Emissionslinien für die Edelgase Neon und Krypton zur Elektronentemperaturbestimmung in einem planar induktiv gekoppelten HF-Experiment (27,12 Mhz) identifiziert. Die Auswertung der geeigneten Emissionslinien erfolgt dabei über ein um den Einfluss der Metastabilendichte erweitertes Koronamodell. Die in den Mischplasmen bei Drücken zwischen 4 und 20 Pa gewonnen Werte für Te werden durch Vergleich auf ihre Anwendbarkeit überprüft. Neben der Te-Auswertung aus der optischen Emissionsspektroskopie wurden Plasmaparameter wie die EEDF, die Elektronendichte und die Elektronentemperatur ortsaufgelöst über eine Langmuirsonde gemessen. Die Gültigkeit der Annahme einer Maxwell’schen Elektronenenergieverteilung wird somit ebenfalls überprüft.