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P: Fachverband Plasmaphysik

P 6: Grundlegende Phänomene

P 6.5: Vortrag

Montag, 12. März 2012, 18:10–18:25, V57.01

Lichtemission von Edelgasen bei kombinierter Elektronenstrahl- und Hochfrequenzanregung — •Thomas Dandl¹, Thomas Heindl¹, Jochen Wieser² und Andreas Ulrich¹ — ¹Physik Department E12, Technische Universität München, James-Franck-Str. 1, 85748 Garching — ²Optimare Analytik GmbH & Co KG , Emsstr. 20, 26382 Wilhelmshaven

Durch eine sehr dünne Siliziumnitridmembran (300nm) werden Elektronen mit einer Teilchenenergie von 12keV in Edelgase eingeschossen. Dies führt zur Anregung und Ionisierung der Targetgasatome und somit zur Emission der für die Gase charakteristischen Linienstrahlung im VIS-IR-Bereich, sowie der Excimer-Kontinuumsstrahlung im VUV-Bereich. Aufgrund der Vorionisierung des Gases durch den Elektronenstrahl, ist es selbst bei Atmosphärendruck möglich, zusätzlich Leistung durch eine Hochfrequenzanregung (2,45GHz) in das Gas einzukoppeln ohne dabei eine eigenständige HF-Entladung zu zünden. Dies hat eine erhebliche Veränderung der beobachteten Emissionsspektren zur Folge. Für verschiedene Edelgase bzw. deren Mischungen werden ausgewählte Effekte beschrieben. Neben der Veränderung der Form der Excimerkontinua sowie der Intensität der Linienstrahlung wird die Entstehung eines breiten Kontinuums beobachtet, welches sich über den gesamten UV-VIS-IR-Bereich erstreckt. Durch die beiden unterschiedlichen Anregungsmechanismen eröffnet dieser Versuchsaufbau eine neue Herangehensweise bei der Untersuchung von Niedertemperaturplasmen.

Gefördert durch das BMBF Förderkennzeichen 13N9528 und 13N11376.