Stuttgart 2012 – wissenschaftliches Programm

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SYPD: Symposium Plasma Deposition von funktionellen Schichten

SYPD 2: Plasmatechnik und Anwendungen

Donnerstag, 15. März 2012, 14:00–16:20, V57.03

	14:00	SYPD 2.1	Hauptvortrag: Charakterisierung von Plasmaprozessen zur ionengestützten Abscheidung (PIAD) von optischen Schichten — •Jens Harhausen, Ralf Peter Brinkmann, Rüdiger Foest, Andreas Ohl, Benjamin Schröder und Hartmut Steffen
	14:30	SYPD 2.2	Hauptvortrag: Prozessüberwachung und Kontrolle mit der Multipol-Resonanz-Sonde — •Ralf Peter Brinkmann, Martin Lapke, Jens Oberrath, Christian Schulz, Robert Storch, Tim Styrnoll, Peter Awakowicz, Thomas Mussenbrock, Thomas Musch, Ilona Rolfes und Christian Zietz
	15:00	SYPD 2.3	Hauptvortrag: Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten (SFB TR 87) — •Peter Awakowicz
	15:30	SYPD 2.4	Hauptvortrag: Phase stability of TiAlNO (SFB TR 87) — •Jochen Schneider
	16:00	SYPD 2.5	Barrierebeschichtung von PET mit mikrowellenangeregten Niederdruckplasmen mit Substratbias — •Simon Steves, Michael Deilmann, Nikita Bibinov und Peter Awakowicz