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SYPD: Symposium Plasma Deposition von funktionellen Schichten

SYPD 2: Plasmatechnik und Anwendungen

SYPD 2.3: Hauptvortrag

Donnerstag, 15. März 2012, 15:00–15:30, V57.03

Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten (SFB TR 87) — •Peter Awakowicz — Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik, Ruhr-Universität Bochum

Der SFB TR 87 wird seit Juli 2010 durch die DFG gefördert. In diesem plasmatechnisch ausgerichteten SFB-Transregio arbeiten verschiedene Gruppen der Universitäten Bochum und Aachen aus den Bereichen Plasmatechnik und Plasmaphysik, Werkstoff- und Oberflächentechnik, Materialwissenschaften und Grenzflächenchemie (Uni Paderborn) eng zusammen. Das Ziel des SFB TR 87 ist es, Schichtsysteme mit einzigartigen tribologischen Eigenschaften auf Metallsubstraten sowie Barriereschichten auf Kunststoffsubstraten zu erforschen. Dazu wird neueste, teilweise selbstentwickelte Quellentechnologie zum Einsatz gebracht und mit einem sehr breiten Spektrum an quantitativen, ebenfalls teils neu entwickelten Plasmadiagnostiken, unterstützt durch Modellbildung und einnmalige Einzelteilchenexperimente, charakterisiert. Im SFB TR 87 sollen die Zusammenhänge zwischen den Werkstoffeigenschaften und den Plasmaparamtern erforscht und zur Plasmakontrolle, Schichtentwicklung und in-situ Schichtkontrolle eingesetzt werden. Damit wird das empirische Vorgehen bei der Abscheidung dünner Funktionschichten überwunden und die grundlegenden Mechanismen auf dem Syntheseweg in Hochleitungsplasmen erforscht und theoretisch wie auch experimentell beschrieben.