Stuttgart 2012 – scientific programme

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SYPD: Symposium Plasma Deposition von funktionellen Schichten

SYPD 2: Plasmatechnik und Anwendungen

SYPD 2.5: Talk

Thursday, March 15, 2012, 16:00–16:20, V57.03

Barrierebeschichtung von PET mit mikrowellenangeregten Niederdruckplasmen mit Substratbias — •Simon Steves, Michael Deilmann, Nikita Bibinov und Peter Awakowicz — Lehrstuhl für Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik (AEPT), Ruhr-Universität Bochum

Die Verwendung von Kunststoffen wie PET als Verpackungsmaterialien erfordert die Entwicklung geeigneter transparenter Permeationsbarrieren für Gase, wie Sauerstoff und Kohlendioxid. Am Lehrstuhl für Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik werden mikrowellenangeregte Niederdruckplasmen mit Substratbias für die Barrierebeschichtung untersucht.

Als Permeationsbarriere wird dazu Siliziumoxid mit gepulsten Hexamethyldisiloxan:Sauerstoff-Plasmen auf PET abgeschieden. Mit Hilfe eines Substratbias wird der Einfluss der Ionenenergie auf die Eigenschaften des Beschichtungsprozesses untersucht. Die Zusammensetzung der abgeschiedenen Schichten beeinflusst die Barrierewirkung. Während organische Schichten zu keiner angemessenen Barriereverbesserung beitragen, ermöglichen anorganische SiOx-Schichten hohe Barrierewirkungen. Gezeigt werden Untersuchungen zur Schichtzusammensetzung (XPS) und zur Visualisierung von Schichtdefekten, die für den Restpermeationsfluss verantwortlich sind.

Das Projekt wird von AURION Anlagentechnik GmbH, der Ruhr University Bochum Research School und von der Deutschen Forschungsgemeinschaft im Rahmen des SFB-TR 87 gefördert.