Dresden 2013 – wissenschaftliches Programm

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T: Fachverband Teilchenphysik

T 62: Halbleiterdetektoren: Forschung und Entwicklung 2

T 62.3: Vortrag

Montag, 4. März 2013, 17:20–17:35, GER-007

Modulbau für das Upgrade des ATLAS-Silizium-Streifen-Detektors: Qualitätssicherung und Optimierung des Fertigungsprozesses — Ingo Bloch¹, Conrad Friedrich¹, Heiko Lacker², •Luise Poley² und Laura Rehnisch² — ¹DESY, Zeuthen — ²Institut für Physik, Humboldt Universität zu Berlin

Der Bau von Halbleitermodulen für das Upgrade des ATLAS-Silizium-Streifen-Detektors am Large Hadron Collider erfordert eine hohe Fertigungspräzision mit Toleranzen im Mikrometerbereich. Für die ab ca. 2016 angestrebte Massenproduktion sollen einfache und günstige Techniken verwendet werden. Diese beiden Ansprüche zu vereinen stellt eine interessante Herausforderung dar. Mehrfache detaillierte Prozesskontrollen sind notwendig um die notwendige Genauigkeit insbesondere bei den manuell durchgeführten Klebungen der Bauteile und dem elektrischen Verbinden der Komponenten durch Wire Bonding zu erreichen. Diese Kontrollen stellen einen wichtigen Zeitfaktor bei der Massenproduktion dar. Auch Transport und Lagerung der Module erfordern besondere Maßnahmen. Dieser Vortrag gibt einen Überblick über die Qualitätskontrollen im Fertigungsprozess sowie Optimierungsansätze für einige der dabei beobachteten Schwierigkeiten.