Jena 2013 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 10: Poster: Plasmadiagnostik

P 10.14: Poster

Mittwoch, 27. Februar 2013, 16:30–18:30, Poster EG

Metastabilendynamik in HiPIMS-Plasmen — •Alexander Kanitz, Marc Böke, Teresa de los Arcos, Ante Hecimovic und Jörg Winter — Ruhr-Universität Bochum, EP II, 44801 Bochum

Speziell in HiPIMS-Plasmen (High-Power Impulse Magnetron Sputtering), die sich durch kurze Pulsdauern von einigen 10 - 100 µs und hohe Leistungsdichten auszeichnen, sind Metastabile nicht nur während des Plasmapulses, sondern aufgrund ihrer langen Lebensdauer auch im Afterglow eine wichtige Komponente. Sie geben zum einen Aufschluss über die Entladungsdynamik und Gastemperatur, zum anderen sind sie auch ein wichtiger Faktor in Anregungsprozessen. Durch die räumliche Inhomogenität und zeitliche Entwicklung des HiPIMS-Plasmas müssen die Metastabilendichten orts- und zeitaufgelöst gemessen werden. Besonders eignen sich hierzu Messungen des Absorptionsprofils mit durchstimmbaren Laserdioden. In diesem Fall wird der Übergang der Ar-Metastabilen von 1s₅ bei 772,37 und 811,53 nm untersucht. Der schmalbandige Laserstrahl wird durch ein strahlaufweitendes Linsensystem geleitet und durchquert dann das Plasma. Das Signal wird hinter dem Plasma mit einem Array von Fotodioden detektiert und erlaubt so gleichzeitige Orts- und Zeitauflösung. Erste Ergebnisse werden vorgestellt. Gefördert durch die DFG im Rahmen von SFB-TR 87.