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P: Fachverband Plasmaphysik
P 12: Plasmadiagnostik II
P 12.4: Talk
Thursday, February 28, 2013, 12:00–12:15, HS 2
Absorptionsspektroskopie an Mikroplasmen — •Sandra Schröter1, Thomas Kuschel1, Ramasamy Pothiraja2, Nikita Bibinov2, Peter Awakowicz2, Marc Böke1 und Jörg Winter1 — 1Ruhr-Universität Bochum, EP II, 44801 Bochum — 2Ruhr-Universität Bochum, AEPT, 44801 Bochum
Metastabile Spezies werden meist durch Elektronenstoßprozesse aus dem Grundzustand von Atomen oder Molekülen angeregt. Ihre Lebensdauer wird hauptsächlich durch Stöße mit anderen Plasmabestandteilen begrenzt. Metastabile dienen somit als ein effektiver Speicher von Energie, die mit ihnen über verhältnismäßig weite Strecken transportiert werden kann. Daher ist es von großem Interesse, ihre räumlichen Verteilungen und zeitlichen Entwicklungen zu untersuchen. Gemessen wurden Absorptionsprofile in Argon mit durchstimmbaren Laserdioden. Angeregt wurde der Übergang vom 1s5- auf das höhere 2s9-Niveau durch die Absorption schmalbandiger Laserstrahlung. Untersucht wurden Verteilungen von Argon-Metastabilen in zwei Arten von Mikroplasmen, einmal in einer planparallelen Geometrie bei Niederdruck (DC) und an einem zu Beschichtungsprozessen dienenden filamentierten Jet bei Atmosphärendruck (gepulst) mit Beimischungen von Stickstoff und Methan. Es wurden orts- und zeitaufgelöste Metastabilendichten ermittelt sowie Gastemperaturen bestimmt. Zudem wurde untersucht, wie die Variation verschiedener Plasmaparameter (Entladungsstrom, Gasdruck und -fluss, Gasgemisch) sich auf den Verlauf der Absorptionsprofile auswirken.
Gefördert durch die DFG im Rahmen von FOR1123