Jena 2013 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 14: Poster: Komplexe und Staubige Plasmen

P 14.1: Poster

Donnerstag, 28. Februar 2013, 14:00–16:00, Poster EG

Phasenaufgelöste optische Emissionsspektroskopie in staubdominierten RF-Plasmen — •Carsten Killer und André Melzer — Institut für Physik, Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald, 17489 Greifswald

Mittels thermophoretischer Levitation können mikrometergroße Staubpartikel fast im gesamten Plasmavolumen einer kapazitiv gekoppelten Argon-RF-Entladung eingefangen werden. Dabei wird das Plasma durch die Anwesenheit der sich stark negativ aufladenden Staubteilchen beeinflusst. Ein wichtiger Effekt ist die Elektronenverarmung im Plasma, welche auch bei staubfreien Plasmen in stark elektronegativen Gasen (z.B. CF4) auftritt und dort zu neuartigen Heiz-Moden (Drift-Ambipolar-Mode) führen kann. Mittels phasenaufgelöster optischer Emissionsspektroskopie können die Auswirkungen des Staubs auf die Lichtemission des Plasmas untersucht werden. Die Phasenauflösung kann sich dabei auf die typische RF-Periode (ca. 74 ns) oder dynamische Phänomene des Staubs (z.B. Staubdichtewellen) beziehen. Erste Messungen zeigen einen starken Einfluss des Staubs auf die Plasmaemission, der weit über aus 2D-Staubsystemen bekannte Effekte hinausgeht.