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P: Fachverband Plasmaphysik

P 18: Poster: Plasmatechnologie

P 18.4: Poster

Donnerstag, 28. Februar 2013, 14:00–16:00, Poster EG

Kalorimetrische Untersuchung eines thermischen Atmosphärendruck-Plasmajets — •Thorben Kewitz, Maik Fröhlich und Holger Kersten — Institut für Experimentelle und Angewandte Physik, CAU Kiel

Atmosphärendruck-Plasmajets können aufgrund ihrer im Vergleich zu Niederdruckplasmen einfacheren Handhabung und den Kostenvorteilen in vielen industriellen Bereichen eingesetzt werden. Zu den Anwendungen gehören zum Beispiel die Reinigung von Oberflächen, die Aktivierung von Polymeren und die Abscheidung von funktionellen Schichten. Dabei ist das Wissen über die Temperaturverteilung und Energiedichten, speziell bei der Abscheidung von Schichten auf thermisch sensiblen Materialien, besonders wichtig. Zum einen sind sie entscheidend für die Qualität der Schichtbildung und zum anderen ist der Energieeinstrom bei temperaturempfindlichen Substraten ein entscheidender Faktor. Daher ist die thermische Charakterisierung von Atmosphärendruck-Plasmajets von großer Bedeutung. In der hier vorgestellten Arbeit wurde der Energieeinstrom eines kommerziellen thermischen Atmosphärendruck-Plasmajets mit einer kalorimetrischen Sonde untersucht. Die Ergebnisse geben darüber hinaus Informationen über temperaturbedingte Grenzen dieser Sonde und Hinweise für deren Modifizierung für den Einsatz bei durch Prozessplasmen bedingten hohen Oberflächentemperaturen.